掃描電子顯微鏡原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等等。
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發(fā)出的電子束經(jīng)柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經(jīng)過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10mm的電子束，并在試樣表面聚焦。末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。
飛納高分辨率專業(yè)版PhenomPro可選配豐富的拓展功能選件，如3D粗糙度重建（3DRoughnessReconstruction）、纖維統(tǒng)計分析測量系統(tǒng)（FiberMetric）、孔徑統(tǒng)計分析測量系統(tǒng)（PoreMetric）、顆粒統(tǒng)計分析測量系統(tǒng)（ParticleMetric）、超大視野拼圖（AutoImageMapping）、遠(yuǎn)程操作等。軟件可以自動采集數(shù)據(jù)、處理圖片。比如，纖維統(tǒng)計測量系統(tǒng)可以自動識別、測量纖維樣品，而大視野拼圖則自動采集生成高分辨、大視野的樣品全景照片，等等。
掃描電子顯微鏡觀測電疇是通過對樣品表面預(yù)先進(jìn)行化學(xué)腐蝕來實現(xiàn)的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區(qū)域從而可在顯微鏡中進(jìn)行觀察。
